为保障资金需求,在疫情期间,长江产业基金管理公司协调加快三安光电定向增发审核进程,一方面为三安光电提供绿色通道审核要求,另一方面向省发改委等部门争取支持,并积极衔接交易所,加快推进定增审核进度,定增方案于2020年6月3日获中国证监会核准,于6月23日完成发行上市,是证监会定增新规实施后锁价发行的全国首单 。
目前,整个项目现场仍有600多名工人在抓紧施工 。
李水清表示,在大家的共同努力下,不但追平一期原计划,二期建设也已提前启动,时间至少提前半年 。
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三安:为长沙产业发展提供“芯”动力3编者按
在市第十四次党代会上,长沙明确提出以“双五”工程——“五区”建设和“五个十大”为抓手,推动现代化新长沙建设取得明显成效 。其中,“五个十大”包括“十个重大城市片区”“十个重大引领性产业项目”“十个重大科技创新标志性项目”“十个重大基础设施项目”“十个重大民生项目”,是未来五年长沙的突破重点 。即日起,*推出探访“五个十大”项目现场系列报道,看项目进展情况,探项目潜力所在 。
*全媒体采访人员 朱泽寰
“这是我国首条、全球第三条碳化硅全产业链生产线 。”10月12日,湖南三安半导体有限责任公司党支部书记、副总经理张洁在位于长沙高新区的湖南三安半导体产业园内自豪地说,项目一期主要包含碳化硅长晶、衬底、外延、器件封装等厂房及相关配套设施,已于今年6月23日投产 。
三安半导体产业园项目共分为两期建设,项目一期预计将年底实现产线的全线贯通;当项目二期建成达产后,预计可实现年产值逾120亿元,年税收17亿元 。项目全面建成后,将成为推动湖南新一代半导体及集成电路产业链发展的强大动力 。
比医院手术室还“干净”的作业环境
当日,采访人员驱车来到位于长沙高新区的三安半导体产业园项目,老远就看到一幢偌大的单体建筑屹立在园区之内 。
“这是我们项目最大的单体厂房,占地面积达23206平方米,建筑面积达52326平方米 。”站在M2B碳化硅芯片厂房外,张洁指着这栋巨型建筑介绍道 。
“为了满足半导体制造工艺需求,生产车间必须达到洁净车间的标准 。”据项目工作人员介绍,通过在车间内设置新风系统,朝室内不断输送清洁空气,可以保持室内的正压,再通过广泛铺设的通风孔向外排气,从而保证车间的洁净度 。
采访人员了解到,空气的洁净标准一般按照十级、百级、千级、万级、十万级……划分,数值越小,净化级别越高 。普通公共场所杀菌消毒可参照三十万级标准,医院ICU病房杀菌消毒参照十万级标准,M2B芯片厂房则为百级标准,洁净程度远超医院手术室十万级标准 。此外,在项目一期中的衬底、外延等单体厂房则至少是“千级”洁净度 。五大工艺助力三安跻身世界一流水平
2020年6月17日,湖南三安半导体产业园项目开工建设,历时11个月建设期,最高峰时段1500余人同步施工作业 。2021年6月23日项目一期工程竣工点亮投产 。
该项目具有很高的工艺水准 。“长晶、衬底、外延、封装等五大核心工艺,助力三安半导体项目跻身世界一流水平 。”张洁说道 。
以长晶为例,碳化硅晶体生长的温度在2200摄氏度以上,且生长过程无法及时观测,同时碳化硅又有上百种晶态 。“要在如此严苛的条件下,生长出大尺寸、无缺陷,且为同一晶态的晶体绝非易事 。”张洁说 。作为国内最早投入碳化硅晶体生长技术研发的企业之一,三安半导体在项目中使用了一种更成熟、更高生产效率的方法,能在相对苛刻的环境下,使生长的晶体达到行业领先标准 。目前国产化的长晶炉在工作稳定性上已经优于进口设备 。
相关技术难点还不止于晶体的生长环节 。“碳化硅晶体生长与衬底制造同样拥有较高的技术壁垒,放眼全球也仅有极少数的企业具备产业化的能力 。”张洁表示,由于碳化硅材料的硬度极高,在自然界中仅次于金刚石,其加工难度可想而知 。对此,三安半导体项目利用在晶锭“切、磨、抛”等工艺方面的独家技术和对作业环境洁净度的严格控制,能精准加工出埃米级别的高平整、零污染的衬底 。“埃米比我们熟知的纳米还要小一个单位,是纳米的十分之一 。”张洁说 。
【三安什么意思 三安指的是哪三安】推动长沙先进半导体产业壮大
作为第三代化合物半导体的“王牌材料”,碳化硅在业内也被称为“金刚砂”,其在功率器件上的性能无与伦比,特别是运用在新能源汽车、高铁的IGBT模块与白色家电的IPM模块中,可直接降低40%左右的功耗 。
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