扫描电镜分辨率影响因素 扫描电镜分辨率6nm够用吗

【扫描电镜分辨率影响因素 扫描电镜分辨率6nm够用吗】

扫描电镜分辨率影响因素 扫描电镜分辨率6nm够用吗

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扫描电镜分辨率6nm够用 。普通扫描电镜的颗粒分辨率一般在6nm左右,场发射扫描电镜的分辨率可以达到0.5nm 。扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段 。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大再成像,以达到对物质微观形貌表征的目的 。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷以及纳米材料等的研究上有广泛应用,因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用 。