国产最新光刻机2022 国产最新光刻机 国产光刻机小说( 二 )


考虑到上海微电子做了多年的光刻机设备 , 因此下一代光刻机的产量可能大到足以撑起一座先进的晶圆工厂 。但是 , 在28纳米制程工艺上 , 如果芯片制造商已经用了ASML或者尼康的光刻机 , 可能要重新设计制程工艺节点才能换用上海微电子的光刻机 。虽然国内很快就能自主生产用于28纳米制程工艺节点的光刻机 , 但本土半导体厂商纷纷导入上海微电子的28纳米光刻机 , 肯定需要更长的时间 。
如果以上传言非虚 , 那么上海微电子只用两年多的时间、即研发出可用于28纳米制程工艺节点的光刻机 , 在技术上绝对可以说是一个非常大的进步 。当下一代光刻机正式对外面世 , 而且能够用于芯片制造 , 无疑是国产半导体产业自给自足再次向前迈出重要一步 。

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先前 , 半导体行业专家莫大康称 , 中国半导体产业几乎不可能再重建一条国产化高达100%的生产线 , 既不经济 , 几乎也不太可能 , 连美国都做不到 。所以必须依靠全球化的协同力量 。但是眼前的态势是残酷的 , 没有其它的可行之路 , 逼着向国产化迈进 。对此 , 外人或许可以这样理解他所表达的观点:中国半导体产业在向国产化方向努力的同时 , 应该依靠全球化协作 , 在技术上去美国化的同时 , 与其他国家(地区)精诚合作 , 达到互利共赢……
莫大康表示 , 半导体业者必须把国产化视为必修课之一 , 只有通过国产化的进程来提高自身的竞争力 , 所以不单是要踏实苦干 , 循序渐进 , 同时要高歌挺进 。相信当能将若干关键半导体设备如光刻机、CVD、离子注入机、测试仪等部分实现了国产替代 , 并能达到较高水平 , 那时高技术出口禁运政策就自然会瓦解 。对于中国半导体产业要做好长远的心理准备 , 可能要五年左右的不懈努力攻关 。集中国内的优势兵力 , 才有可能取得成功 。全球化不是西方的恩施 , 而必须依靠自身的竞争力提升 , 所以全球化必须是通过竞争胜出努力争取才会到来 。
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并且 , 他也提到 , 目前国内光刻机迫切要解决“卡脖子”问题 , 因为在国外光刻机设备进囗受阻时 , 国内光刻机在芯片生产线中的量产水平 , 直接决定了国内芯片生产线的工艺制程水平 , 所以它是“开路先锋” 。按照此目标任务 , 首先要解决的是193纳米浸润式光刻机 , 能满足量大面广的、从28纳米到7纳米逻辑工艺芯片制造的需求 , 而不是EUV极紫外光刻机 , EUV光刻机机应该作为下一步突破的目标 。
【国产最新光刻机2022 国产最新光刻机 国产光刻机小说】莫大康认为 , 光刻机的攻坚任务是开路先锋 , 它具有设备国产化的示范引导意义 , 因此必须集国内的智慧人力及财力 , 克服困难 , 彻底改变科研院所之前只关注解决从0到1而不能与企业相结合 , 必须真正能解决芯片量产中的实用化问题 。同时 , 对于光刻机国产化的复杂性要有充分认识与估计 , 因为在02专项攻关任务中 , 它是年年在列 。